沈阳芯源微电子设备股份有限公司成立于2002年，是由中国科学院沈阳自动化研究所发起创立的国家级高新技术企业，国家首批专精特新小巨人企业，国家级知识产权优势企业，拥有国家级企业技术中心、省级重点工程实验室和专业技术创新中心。

公司专业从事半导体专用设备的研发、生产和销售，致力于为客户提供半导体装备与工艺整体解决方案。面向前道芯片制造、圆片级先进封装、化合物半导体三大领域，形成了涂胶、显影、喷胶、去胶、清洗、湿法刻蚀、键合及解键合、划片裂片八大系列产品，海内外客户260余家，是国内唯一可提供量产型中高端涂胶显影设备的供应商。

2019年12月16日，芯源微在上海证券交易所科创板挂牌上市，成为辽宁省科创板“第一股”、半导体光刻设备“第一股”、中科院参股企业科创板“第一股”，拥有员工1200余人。公司共获得专利授权286项，软件著作权78项，多次承担国家重大专项，连续多年获评中国半导体设备行业十强。